分子ポンプ

Molecular pump

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a molecular pump which solves such a problem that it is adversely affected when a rotary member 4 is fractured by corrosion and there occurs a torque in a casing 5 or a lower casing 9. SOLUTION: Notch portions 5K are provided near opposite sides of a through hole 5H for a bolt 11 bored in an inlet flange 5F, ideally near opposite sides in the circumferential direction of a pitch circle concentric with the through hole 5H. With such structure, thin portions T are formed near the through hole 5H, the thin portions T constituting deformable portions. Since the molecular pump has the above construction, when the torque which has occurred acts on the thin portions T through the bolt 11, the inlet flange 5F having the thin portions T at its central portion distorts, and the energy acting on the bolt 11 is absorbed by the deformation of the notch portions K. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
【課題】 回転体4が腐蝕によって破断しケーシング5や下部ケーシング9にトルクが発生したとき悪影響を与える。このような課題を解決する分子ポンプを提供する。 【解決手段】 吸気口フランジ5Fに穿設されたボルト11用の貫通孔5Hの近傍両側、理想的には貫通孔5Hの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に切込部5Kが設けられている。このような構成により貫通孔5Hの近傍に肉薄部Tが形成されている。この肉薄部Tが変形部を構成する。このような構成であるから、発生したトルクがボルト11を介してこの肉薄部Tに作用すると、この肉薄部Tを中心とする吸気口フランジ5Fは歪み、ボルト11に作用したエネルギーがこの切込部5Kの変形で吸収されることになる。 【選択図】 図1

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