切削装置および切削方法

Cutting device and cutting method

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate cutting water containing contamination remaining between the lower surface of a spindle housing and an object to be machined, without interrupting the cutting of the object to be machined. <P>SOLUTION: A cutting device 10 comprises a spindle unit 21 having a rotary spindle 24, a spindle housing 26 for rotatably supporting the rotary spindle, and a motor 23 for rotating and driving the rotary spindle; a cutting blade 22 mounted on the tip of the rotary spindle; and a cutting water supply nozzle 28 for jetting out cutting water 70 near the machining point of the cutting blade. The cutting device 10 cuts the object to be machined by the cutting blade, while supplying cutting water to the object 12 to be machined by the cutting water supply nozzle. Further, a washing water supply port 60a, for supplying washing water, between the lower surface of the spindle housing and the object to be machined, is provided to the lower surface of the spindle unit. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
【課題】 被加工物の切削を中断させることなく,スピンドルハウジングの下面と被加工物との間に滞留しているコンタミを含んだ切削水を排除する。 【解決手段】 回転スピンドル24と,回転スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジング26と,回転スピンドルを回転駆動するモータ部23とを備えたスピンドルユニット21と,回転スピンドルの先端部に取り付けられた切削ブレード22と,切削ブレードの加工点付近に切削水70を噴出する切削水供給ノズル28とを備え,被加工物12に切削水供給ノズルで切削水を供給しながら,切削ブレードによって被加工物の切削を行なう切削装置10において,さらに,スピンドルユニットの下面には,スピンドルハウジングの下面と被加工物との間に洗浄水を供給するための洗浄水供給口60aが設けられている。 【選択図】 図3

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    JP-2006086202-AMarch 30, 2006Tokyo Seimitsu Co Ltd, 株式会社東京精密ダイシング装置
    JP-4595458-B2December 08, 2010株式会社東京精密ダイシング装置